东莞市宏诚光学制品有限公司
规格
腔体尺寸 2050
蒸发源 电子束源
基板夹具 可选:分段圆**(3/6/7),翻转,行早夹具
控制系统 HOPE(过程控制和监控-PC系统)
EB(电子枪) 1GUN 韩一 12穴
离子源 韩一 (霍尔)
机械泵 爱德华 EM275
罗茨泵 爱德华EM2600
深冷 韩国V-PLUS1000H
晶控 XTC/3S+单探头
加热方式 下加热卤灯